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1、什麼是等離子體？
等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，即電離了的“氣體”，它呈現(xiàn)出高度激發(fā)的不穩(wěn)定態(tài),等離子體中存在下列物質(zhì)：
① 處?kù)陡咚龠\(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；
② 處?kù)秵?dòng)狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；
③ 分子解離反應(yīng)過(guò)程中生成的紫外線；
④ 離子化的原子、分子；
⑤ 未反應(yīng)的分子、原子等。
但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
2、如何獲得等離子體？
我們知道，給固態(tài)增加能量可使之成為液態(tài)，給液態(tài)增加能量 可使之變成氣態(tài)，那麼，給氣態(tài)增加能量則能變成等離子態(tài)。因此，等離子態(tài)是氣體在一定環(huán)境下輝光放電產(chǎn)生的一種物態(tài)。
3、等離子體種類(lèi)有哪些呢？
A.大氣壓等離子體
氣體處?kù)洞髿鈮籂顟B(tài)並從外界獲得大量能量，得到的等離子體稱(chēng)為大氣壓等離子體。其具有溫度高、強(qiáng)度大、破壞性強(qiáng)等特點(diǎn)。
B.低壓等離子體
在低壓氣體的場(chǎng)合產(chǎn)生的等離子體稱(chēng)為低壓等離子體。
4、低壓等離子技術(shù)主要應(yīng)用有哪些？
A、清洗/蝕刻
在進(jìn)行清洗時(shí)，工作氣體往往用氧氣、 氬氣或其他混合氣體，它被加速了的 電子轟擊成氧離子、自由基後，氧化 性極強(qiáng)。工件表面的汙物，如油脂、 助焊劑、感光膠、脫膜劑、衝床油等, 很快就會(huì)被氧化成二氧化碳、水或其 他雜質(zhì)氣體，而被真空泵抽走，從而 達(dá)到清潔表面，改善浸潤(rùn)性和粘結(jié)性目的。
B、表面活化
物體表面在02,N2或Ar等離子的作用下，可以改變表層的分子 結(jié)構(gòu)，從而增加物體的表面能。
C、引入官能基團(tuán)（親水性/疏水性處理）
高分子材料用N2、NH3、02、SO2等氣體的等離子體處理，可以改變表面的化學(xué)組成，引入相應(yīng)新的官能基團(tuán)：-NH2、-OH、-COOH、-S03H等。這些官能團(tuán)可使聚乙烯,聚丙烯，聚苯乙烯，聚四氟乙 烯等這些完全惰性的基材變成官能團(tuán)材料，可以提高表面極性，浸潤(rùn)性，可粘結(jié)性，反應(yīng)性，極大地提高了其使用價(jià)值。與氧等離子體相反，而經(jīng)含氟氣體的低溫等離子體處理，可在基材表面引入氟原子，使基材具有疏水性.
