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項目 | 規(guī)格 |
主機尺寸 | 1955W x 1580D x 1750H mm |
真空腔體尺寸 | 1020W x 1330D x 913H mm |
電極板配置 | 16 片垂直電極板，15 個處理位置 |
有效區(qū)域 | 1100W x 615H mm |
等離子體電源 | 10kw-20kw |
電極溫度 | 35~95℃，模溫恒定控制，待機狀態(tài)也能保持溫度不變，省去預熱時間 |
工藝氣體控制 | 標配： |
真空檢測 | 0.01Torr~760Torr，真空計 |
工作氣壓 | 0.15~0.3Torr，控制精度 0.2mTorr |
人機界面觸摸屏 | 中文界面，模擬圖文顯示；操作員、工程師權(quán)限分級； |
真空泵組 | 選配 |
型號指示燈 | 三色指示燈，帶報警蜂鳴器 |
系統(tǒng)重量 | ~3.5 噸，包含主機、泵組、模溫機 |
空間需求 | 4000 x 4000 x 2200(H)mm |
電源需求 | AC380V 三相五線，50Hz/100A，30kW |
壓縮空氣需求 | 潔凈、幹燥，0.5~0.8MPa |
工藝氣體需求 | 0.3~0.5MPa，純度>99.9% |
廠務冰水需求 | 20℃，20L/min （模溫機采用水冷式需求冰水，風冷式無該項） |
抽風系統(tǒng) | >100 立方/min （模溫機采用風冷式需求熱排風，水冷式無該項） |
廢氣管道 | >3 立方/min，中央廢氣系統(tǒng)，DN50 |
環(huán)境溫濕度 | 20~30℃，30%~70%RH |
